高熔体强度PFA美国杜邦416HP
高熔体强度PFA美国杜邦416HP
是一种具有优异性能的特种工程塑料,由知名的美国杜邦公司生产。
PFA成为半导体工业各种生产过程所用设备的原材料。
LSI的制造要经过单晶硅片的表面氧化处理、照相制版处理、
掺杂处理和蒸汽处理等工序,
这些工序中又要经过侵蚀、洗净处理等,都要使用PFA制品。
侵蚀处理是把插在托架上的单晶硅片放人吊篮内浸入侵蚀液中
以溶解不受保护的Sioz等.侵蚀过程中硅晶片的托架(承载器)
多用PFA制成,理由是上述酸、碱的腐蚀性强,
若托架受到侵蚀则会污染硅晶片,且处理温度高
在高温下还需有一定的机械强度和尺寸稳定性、
不黏性,而且托架的形状复杂,需能注射成型。
半导体工业中应用的PFA制品除托架、
吊篮等各种形状的容器外
PFA美国杜邦416HP
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